원자 층 증착이란 무엇입니까?
Atomic Layer 증착은 마이크로 프로세서, 광학 필름 및 센서, 의료 기기 및 두께의 몇 가지 원자 층만이기판.원자 층을 퇴적하는 몇 가지 접근법과 방법이 있으며, 전기 공학, 에너지 및 의료 응용 분야에서 나노 기술 연구 및 재료 과학 연구의 필수 특징이되었습니다.공정은 종종 원자 층 에피 택시 또는 분자 층 에피 택시를 포함하며, 여기서 금속 또는 반도체 실리콘 화합물의 형태로 결정질 물질의 매우 얇은 층이 유사한 물질의 두꺼운 층의 표면에 부착된다.유용한 장치와 재료를 생산하기 위해 운동 해야하는 훌륭한 통제 계층으로 인해 여러 과학 분야의 전문 지식이 필요한 제품 연구 및 생산 분야.그것은 종종 물리, 화학 및 기계에서 화학 공학에 이르기까지 다양한 유형의 엔지니어링의 연구 개발을 포함합니다.화학 연구에 따르면 원자 및 분자 수준에서 화학 공정이 어떻게 발생하는지, 그리고 결정 및 금속 산화물의 성장에 대한 자체 제한 인자가 무엇인지를 결정하므로 원자 층 증착은 균일 한 특성을 갖는 층을 일관되게 생성 할 수 있습니다.원자 층 증착을위한 화학 반응 챔버는 다양한 반응물 화학 물질의 양과 챔버의 온도를 제어함으로써 반응 주기당 1.1 앙스트롬 또는 0.11 나노 미터의 증착 속도를 생성 할 수있다.이러한 공정에 사용 된 일반적인 화학 물질은 이산화 실리콘, SIO
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;산화 마그네슘, MGO;및 Tantalum NITRIDE, TAN. TAN.하이브리드 재료는 또한 인간 혈관에 배치하고 시간 방출 약물로 코팅하여 심장병과 싸우기 위해 유기 및 무기 화학 물질을 사용하여 생산할 수 있습니다.캐나다 국립 나노 기술 연구소 (National Institute of Nanotechnology)의 앨버타 (Alberta) 연구원들은 2011 년 현재 전통적인 스테인리스 스틸 스텐트가있는 유사한 박막 스틸 스텐트와 유사한 박막 층을 만들었습니다. 스테인레스 스틸 스텐트는 유리 실리카 층으로 코팅되어 있습니다.두께가 약 60 개의 원자 층인 설탕 탄수화물 물질에 결합하는 기판.탄수화물은 신체가 동맥에 강철 스텐트의 존재에 대한 거부 반응을 일으키지 않도록 긍정적 인 방식으로 면역계와 상호 작용합니다.원자 층 증착에 사용되는 수백 개의 화합물이 있으며, 수많은 목적을 제공합니다..2011 년 현재 가장 널리 연구 된 것은 통합 회로 산업에서 고기 전기 재료의 개발입니다.트랜지스터가 점점 작아지면서 10 나노 미터 크기 아래로 내려 가면서, 질식 장벽을 가로 질러 전기 전하가 누출되는 양자 터널링으로 알려진 공정은 트랜지스터에 대한 이산화 실리콘의 전통적인 사용을 실용적으로 사용합니다.대체물로서 원자 층 증착에서 시험되는 고 -K 유전체 물질 필름은 지르코늄 이산화 지르코늄, ZnO 2
;Hafnium 이산화물, HFO2
;및 알루미늄 산화 알루미늄, al2 o 3 ,이 물질은 터널링에 대한 훨씬 더 나은 저항을 보여줍니다.